技術(shù)參數(shù)：
1.縱向測量重復(fù)性: 0.5nm （PSI 模式） 縱向分辨率： 2nm
2.縱向測量范圍：15mm
3.高度測量示值誤差： <3%
4.配備超高橫向分辨率測量功能（橫向分辨 100nm）
5.豐富的三維特征分析軟件和粗糙度分析功能
6.采用抗震性硬件結(jié)構(gòu)和軟件算法設(shè)計
測量實例
VLSI納米臺階標準塊三維測量結(jié)果 磨削加工表面三維微觀結(jié)構(gòu)測量
注意事項：
儀器成套性與可選購件可參考產(chǎn)品原頁面，本頁只提供儀器核心技術(shù)參數(shù)。
產(chǎn)品價格均含有商品運費（大陸地區(qū)除外）及發(fā)票的價格但是不包含工程師上門培訓及調(diào)試的費用。
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