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鏡面外觀缺陷檢測(cè)系統(tǒng)

SKU: FM-DVM

 技術(shù)參數(shù):

Ø  缺陷最大檢測(cè)口徑300X200mm (覆蓋8寸晶圓,可訂制12寸晶圓機(jī)臺(tái))

Ø  缺陷檢測(cè)分辨率最高0.5um

Ø  缺陷檢測(cè)類型: 麻點(diǎn)、劃痕、紋理、異色、破邊等

Ø  自動(dòng)缺陷識(shí)別及尺寸量測(cè)

Ø  手動(dòng)上下片,支持半自動(dòng)和自動(dòng)上下片的開發(fā)

Ø   技術(shù)特點(diǎn)

Ø  采用多模式成像確保各種不同類型的缺陷能夠被檢測(cè)

Ø  可以按照20/10、40/20、60/40標(biāo)準(zhǔn)對(duì)缺陷進(jìn)行量測(cè)判定

Ø  軟硬件可以按照實(shí)際樣品檢測(cè)需求進(jìn)行訂制

可附帶增加檢測(cè)基片三維翹曲功能

◆ 測(cè)量實(shí)例

麻點(diǎn)和劃痕.jpg

       麻點(diǎn)和劃痕                      表面紋理

注意事項(xiàng):
儀器成套性與可選購(gòu)件可參考產(chǎn)品原頁(yè)面,本頁(yè)只提供儀器核心技術(shù)參數(shù)。
產(chǎn)品價(jià)格均含有商品運(yùn)費(fèi)(大陸地區(qū)除外)及發(fā)票的價(jià)格但是不包含工程師上門培訓(xùn)及調(diào)試的費(fèi)用。
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