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平板掃描式原子力顯微鏡FM-Nanoview LSCL-AFM

SKU: FM-Nanoview LSCL-AFM

 

工作模式 接觸模式、輕敲模式 樣品重量 ≤0.5Kg
選配模式 摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力/靜電力 Z升降臺 步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動控制，最小步長10nm
力譜曲線 F-Z力曲線、RMS-Z曲線 Z升降行程 15mm（可選20mm，25mm）
XY掃描方式 樣品驅(qū)動式掃描，閉環(huán)壓電平移式掃描臺 光學(xué)定位 5X光學(xué)物鏡（可選10X/20X物鏡）
Z掃描方式 探針驅(qū)動式掃描 攝像頭 500萬像素數(shù)字CCD
XY掃描范圍 閉環(huán)100×100um 掃描速率 0.6Hz~30Hz
Z掃描范圍 5um 掃描角度 0~360°
掃描分辨率 閉環(huán)XY向0.5nm，Z向0.05nm 運行環(huán)境 Windows XP/7/8/10操作系統(tǒng)
XY樣品臺 步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動控制，移動精度1um 通信接口 USB2.0/3.0
XY移動行程 100×100mm（可選200×200mm，300×300mm） 儀器結(jié)構(gòu) 龍門架式掃描頭，大理石底座
樣品載物臺 直徑100mm（可選200mm，300mm） 減震方式 彈簧懸掛式（可選主動式減震臺）

應(yīng)用案例

  藍(lán)寶石外延片.png表格1.png  平板掃描1.png

 

    藍(lán)寶石外延片/掃描范圍1µm×1µm/Sa=1.7nm,Sq=2.08nm

   砷化鎵晶圓.png表格2.png  平板掃描2.png

   砷化鎵晶圓/掃描范圍0.9µm×0.9µm/Sa=2.15nm,Sq=2.69nm 

注意事項：
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